X熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散兩類為主。

1．能量色散熒光光譜儀

能量色散法是將X射線激發(fā)被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進入到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。能量色散型儀器zui大的優(yōu)點是不破壞被測的材料或產(chǎn)品，也不需要專業(yè)人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標(biāo)，常可知是不是六價鉻超標(biāo)，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標(biāo)就不合格）。

2．波長色散熒光光譜儀。

波長法是因其激發(fā)出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數(shù)據(jù)很準(zhǔn)確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個數(shù)量級，也就是說，所測的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構(gòu)復(fù)檢。缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準(zhǔn)確。所以，用在材料廠。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。儀器操作也不需要專業(yè)人員。